ICP-MS=ICP+MS: 是一門將ICP高溫電離特性與四極桿質譜儀的靈敏快速掃描的優(yōu)點相結合而形成的一種新型的元素和同位素分析技術。它提供了最低的檢出限、最寬的動態(tài)線性范圍，干擾少、精密度高、分析速度快，可進行多元素同時測定以及可提供精確的同位素信息等。

ICP(電感耦合等離子體)高溫離子源( 10000k)。在ICP過程中，樣品霧化、蒸發(fā)、解離、原子化、電離，最終轉化為元素離子。然后通過錐接口和離子傳輸系統(tǒng)，進入質譜。

MS(質譜)如四極桿質譜、磁質譜和飛行時間質譜等，可以快速掃描分離所有離子，元素質量數(shù)從6到250，然后通過雙通道離子檢測器檢測，線性范圍可達9個量級(ppt 一ppm直接測定)。此外，ICP-MS還能提供精確的同位素信息。

1等離子體火焰是氣體放電形成，并不是化學火焰.

2等離子體是高頻(27MHz)電感偶合線圈所致的振蕩磁場中自由電子形成.

3能量通過碰撞傳遞給Ar分子，產生近10000k的溫度.

4樣品氣溶膠進入后，產生解離，原子化和電離，轉變?yōu)榉肿?、原子、正離子、負離子、電子、光子等不同粒子的氣態(tài)混合物，形成特殊的物質第四態(tài)--等離子體(plasma)。
在每一點處，正離子和負離子的濃度大體上相等，混合物整體來說是準中性的。

5特點:多數(shù)元素可完全電離(>99%)

6接口:由前后兩個錐組成，分別叫采樣錐和截取錐，錐孔分別為1 mm和0.4mm。由于錐兩面存在壓力差，因而載氣流會攜帶著離子進入真空系統(tǒng)。

7采樣錐錐孔較大，這是為了減少金屬氧化物的形成;截取錐錐孔較小，以進一步減少進入真空系統(tǒng)的離子量。

8錐的材料一一般為Ni,因為Ni具有高熱導性能。而且比較結實耐腐蝕，成本也較低。除此之外，還可用Pt。

9進入真空系統(tǒng)的離子有足夠長的平均自由程，得以被靜電透鏡提取和聚焦。第一級靜電透鏡(提取電極)被加以負電壓，這樣它們就能提取正離子，并將它們傳送到下級透鏡中去，負離子及中性粒子都將被真空泵抽走。在此系統(tǒng)中還有一個光子擋板，以防止光子進入質量分析器。

10離子通過離子透鏡，進入四極桿質量分析器，電子倍增管將信號放大，進入多通道分析器(MCA )進行分析。

11檢測方式有模擬計數(shù)和脈沖計數(shù)兩種。