資訊中心NEWS CENTER
在發(fā)展中求生存,不斷完善,以良好信譽和科學的管理促進企業(yè)迅速發(fā)展如今 我們應用廣泛的二手ICP-MS,涉及到很多半導體制成過程需要痕量雜質分析需求,如何調諧和優(yōu)化 二手ICP-MS 儀器的狀態(tài)呢?
首先了解二手ICP-MS的工作原理,調諧的最終目的是:
1、獲得最好的靈敏度---信噪比來體現(xiàn);
2、最大的消干擾---以質荷比來體現(xiàn)。
(1)采樣深度
調這個參數(shù)分兩種情況:
1、難電離元素應當適當增大采樣深度,即增加了難電離元素在等離子體中的路程,進而延遲了難電離元素在ICP中電離的時間,使難電離元素得到充分電離,但是過度的延長會增加二次電離的幾率,從而會形成雙電荷離子,因此單一看此參數(shù)的效果就和開口向的拋物線是一樣的,需要我們找到一個最佳點;
2、易電離元素與之相反,應當適當縮短采樣深度,但是同樣的如果過度縮短采樣深度會使該電離的元素未充分電離。
綜上既要得到最佳的目標值,又要降低干擾,需要有一個指標來確認,這就是我們?yōu)槭裁匆凑{諧液各參數(shù)的信號值的原因。
(2)霧化氣
增大會增加進樣量,元素的電離量也會增大,但同時干擾的離子也會增加;而且過大的流量會使等離子體溫度降低,進而影響元素的電離率。所以需要尋找一個最佳點,因為此參數(shù)對信號值的影響非常明顯,也是常調節(jié)的參數(shù)。
(3)霧化室溫度
來保證樣品在霧室內形成很好的霧狀樣品,一般設置為2℃。
(4)透鏡
通過改變電壓,定向選擇目標離子通過,進入下一級系統(tǒng)??梢愿鶕?jù)二手ICP-MS儀器實際的信號值做出相應調整。
(5)碰撞池
二手ICP-MS儀器 使用的氣體一般是氦氣,因為氦氣的第一電離能比氬氣還大,更加穩(wěn)定,更不易電離,進不用擔心再額外產生干擾離子。用氦氣去碰撞在前期等離子體中形成的多原子干擾離子,比如ArO+,將這種對Fe+產生干擾的且相對不穩(wěn)定的多原子離子撞開,來消除干擾。但是必須要調節(jié)好流量,過高的流量也會將目標離子撞飛,使大量目標離子無法進檢測器,從而會使信號值降到很低。
400-800-3875
li.qiu@spcctech.com
廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)金興路419號703室(鑫龍盛科產業(yè)孵化園A3棟7樓)
關注我們
關于譜標
產品導航
版權信息